GB T 33834-2017 微束分析　掃描電子顯微術(shù)　生物試樣掃描電子顯微鏡分析方法

【國家標(biāo)準(zhǔn)】標(biāo)準(zhǔn)號：GBT33834-2017

　中文名：微束分析　掃描電子顯微術(shù)　生物試樣掃描電子顯微鏡分析方法

　范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了生物試樣掃描電子顯微鏡分析的技術(shù)要求和規(guī)范。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種類型的掃描電子顯微鏡。

術(shù)語和定義：

GB/T23414和GB/T21636界定的術(shù)語和定義以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1電子槍electrongun

電子顯微鏡中的電子光源,由一發(fā)射體(加熱鎢絲、六硼化鑭LaB6燈絲、冷場或熱場發(fā)射尖端)與電子加速系統(tǒng)組成。

3.2電子束electronbeam

由電子光學(xué)系統(tǒng)聚焦到試樣表面的一束電子。

3.3加速電壓acceleratingvoltage

為加速從電子源發(fā)射的電子而加到燈絲和陽極之間的電位差。

3.4生物試樣biologicalspecimens

供掃描電子顯微鏡分析用的具有或者曾具有生命形式的各種動物、植物和微生物樣品。

3.5二次電子secondaryelectron

由于入射電子轟擊試樣而從試樣表面發(fā)射的電子。

注:通常把能量小于50eV的電子稱為二次電子。

3.6背散射電子backscatteredelectron

通過背散射過程從試樣的電子入射表面出射的電子。

注:通常把能量大于50eV的電子稱為背散射電子。

3.7圖像分辨率imageresolution

能被清楚地分開、識別的兩個圖像特征之間的最小間距。

3.8圖像放大倍率imagemagnification

掃描電鏡顯示的線性尺度L與試樣上掃描范圍的相應(yīng)長度l之比則為圖像放大倍率,以M表示,M=L/l。

3.9工作距離workingdistance

物鏡極靴下表面與試樣表面之間的距離。

3.10像散astigmatism

一個物點發(fā)出的電子,不是像理想柱狀透鏡聚焦成一點,而是聚焦形成2條互成90°的分離聚焦線。

注:像散是由于極靴加工精度、極靴材料不均勻、透鏡內(nèi)線圈不對稱及不完善的光闌形成的透鏡不對稱磁場產(chǎn)生。

3.11荷電charging

由于缺少足夠的對地導(dǎo)電途徑,當(dāng)試樣受入射電子束轟擊時其表面發(fā)生電荷積累的現(xiàn)象。

3.12導(dǎo)電鍍層conductivecoating

一種覆蓋到絕緣試樣表面的低電阻材料(如金、鉑、鉻、碳等)薄鍍層,以提供電子束轟擊時可能在表面積累電荷的接地通道。

注:導(dǎo)電鍍層一般厚度為2nm~20nm。

3.13掃描電子顯微鏡scanningelectronmicroscope;SEM

通過電子束掃描試樣表面產(chǎn)生放大圖像的一種儀器。該儀器用細(xì)聚焦的高能電子束轟擊試樣表面,通過電子與試樣相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信息,可對試樣表面或斷口形貌進(jìn)行觀察。

3.14冷凍掃描電子顯微鏡cryo-scanningelectronmicroscope;Cryo-SEM

樣品臺由液氮致冷的專用掃描電鏡,以及在掃描電鏡上附加液氮致冷的冷凍樣品臺附件,可將含水、含油試樣超低溫快速冷凍至固體狀態(tài)下進(jìn)行觀察。

4基本原理

4.1掃描電鏡的成像原理

由電子槍發(fā)射電子,經(jīng)聚光鏡和物鏡的逐級會聚,形成具有一定能量和照明強度、束斑直徑極細(xì)的入射電子束(電子探針),在掃描線圈的作用下,電子束在試樣表面作光柵狀掃描,通過閃爍體等檢測器件接收試樣中被激發(fā)出的二次電子、背散射電子等信號,把它轉(zhuǎn)變成光信號,再經(jīng)光電倍增管放大并轉(zhuǎn)變成電信號,最后由計算機進(jìn)行信號數(shù)據(jù)處理,在顯示器上呈現(xiàn)試樣表面形貌的電子圖像。

4.2冷凍掃描電鏡的成像原理

冷凍掃描電鏡的成像原理同常規(guī)掃描電鏡,區(qū)別在于樣品臺是由液氮致冷,并可以調(diào)節(jié)溫度,控制冰的升華,觀察的是經(jīng)過超低溫冷凍固化的試樣。

5儀器設(shè)備和材料

1掃描電鏡

1.1掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)(電子槍、電磁透鏡、光闌、掃描線圈、合軸線圈、消象散器、樣品室)、信號檢測處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和計算機系統(tǒng)等組成。

1.2冷凍掃描電鏡除了掃描電鏡所有的組件外,還包括冷凍樣品臺和外置的樣品快速冷凍裝置,主要有:液氮泥裝置、真空轉(zhuǎn)移裝置、準(zhǔn)備室、掃描電鏡樣品室內(nèi)的組件、控制板、電子箱和真空泵系統(tǒng)、氮氣和氬氣裝置、紅外觀察器等。

　發(fā)布時間：2017-05-31

　實施時間：2018-04-01

　頒發(fā)部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

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