GB T 33838-2017 微束分析　掃描電子顯微術(shù)　圖像銳度評估方法

【國家標(biāo)準】標(biāo)準號：GB T 33838-2017

　中文名：微束分析　掃描電子顯微術(shù)　圖像銳度評估方法

　范圍：

本標(biāo)準規(guī)定了用于評估掃描電子顯微鏡( SEM )生成的數(shù)字圖像銳度的 3 種方法: 傅立葉變換( FT )法、襯度 - 梯度( CG )法、導(dǎo)數(shù)( DR )法。

術(shù)語和定義

GB / T27788 — 2011 和ISO22493 界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1像素pixel

數(shù)字SEM 圖像中不可再分的最小成像單位。

3.2像素大小pixelsize

SEM 圖像中單位像素的試樣長度, 單位納米( nm )。

注:水平和垂直方向 的像素大小應(yīng)一致。

3.3二值SEM 圖像binarySEMimage

轉(zhuǎn)換后只有兩個灰度級的 SEM 圖像。

3.4卷積圖像 convolutedimage

二值SEM 圖像與二維高斯分布經(jīng)卷積后所得的圖像。

3.5銳度因子 sharpnessfactor

用于生成卷積圖像的高斯分布之標(biāo)準差的兩倍( 2 σ )。

3.6圖像銳度(圖像清晰度) imagesharpness

銳度因子除以 2 的平方根(即 2 σ / 2 ),認為 SEM 圖像的銳度因子與用標(biāo)準差為 σ 的高斯分布所生成的卷積圖像的相同。

3.7襯噪比( CNR ) contrast-to-noiseratio

IA - IB 與σ n的比值, 其中 I A 和 I B 分別是物體與背景的圖像強度, σ n 是圖像噪聲的標(biāo)準差。

3.8傅立葉變換( FT )法Fouriertransform method

通過比較 SEM 圖像與卷積圖像各自 的傅立葉變換分布來評估圖像銳度的方法。

3.9襯度- 梯度( CG )法contrast-to-gradient method

通過SEM 圖像的二維灰度分布圖的權(quán)重調(diào)和平均梯度來評估圖像銳度的方法。

3.10導(dǎo)數(shù)(DR)法derivative method

用誤差函數(shù)擬合 SEM 圖像中顆粒邊緣梯度方向的分布來評估圖像銳度的方法。

3.11視場fieldofview

對應(yīng)整幅 SEM 圖像的試樣的區(qū)域。

4獲取 SEM 圖像的步驟

4.1概述

為獲取 SEM 圖像, 非常重要的是首先要調(diào)節(jié)好顯微鏡的狀態(tài)(例如, 詳見 GB / T27788— 2011 中的

附錄B )。 圖像銳度依賴于: ( 1 )試樣本身;( 2 )圖像前景與背景的結(jié)構(gòu)光滑度; ( 3 ) 亮度與襯度; ( 4 ) 襯噪比( CNR )。 因此, 對這里所述的評估圖像銳度的

3 種方法, 都需要遵守 4.2~4.10 中描述的過程, 它們對應(yīng)于以上評估圖像銳度的各種因素。 尤其是應(yīng)注意調(diào)節(jié)電子束流和聚焦條件, 以 獲取最佳要求的亮度和襯度(見4.6 )及襯噪比(見 4.7 )。

　發(fā)布時間：2017-05-31

　實施時間：2018-04-01

　頒發(fā)部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

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