XPS元素分析與EDS有什么不同

很多同學剛開始做測試不清楚怎么選擇合適的檢測方法，其實這兩種都是比較經典的檢測方法，下面跟鑠思百小編一起看看它們有什么不同。

一.EDS與XPS的相同點

兩者均可以用于元素的定性和定量測試。

二.EDS與XPS的不同點

1.基本原理不一樣: 簡單來說，XPS是用X射線打出電子，檢測的是電子；EDS則是用電子打出X射線，檢測的是X射線。

2.EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態(tài)，且EDX的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低。

而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態(tài)。XPS的靈敏度更高，最低檢測濃度＞0.1%。

3.用法不一樣：EDS常與SEM，TEM聯用，可以對樣品進行點掃，線掃，面掃等，能夠比較方便地知道樣品的表面（和SEM聯用）或者體相（和TEM聯用）的元素分布情況；而XPS則一般獨立使用，對樣品表面信息進行檢測，可以判定元素的組成，化學態(tài)，分子結構信息等。

XPS測試

TEM測試

SEM測試